在半導(dǎo)體薄膜上制備均勻、完整的納米結(jié)構(gòu)是緩解半導(dǎo)體薄膜中常見的諸多電子缺陷的必要工藝。

本研究采用激光直接照射和二次濺射的方法在ITO薄膜上制備了具有良好光電性能的納米結(jié)構(gòu)。

采用基于脈沖再生放大技術(shù)的Nd:YLF飛秒激光系統(tǒng)，波長(zhǎng)為800 nm，重復(fù)頻率為1 kHz。

研究了不同掃描速度和激光誘導(dǎo)的周期性表面結(jié)構(gòu)。在1.86 J cm?2、掃描速度1.1 mm s?1、掃描間距4.5 μm、聚焦激光光斑18.5 μm的條件下，獲得了大面積、均勻且損傷較小的納米結(jié)構(gòu)。

透光率提高21%，片材電阻提高10倍以上。

通過二次濺射對(duì)一定厚度的ITO薄膜進(jìn)行濺射以提高其導(dǎo)電性，并且可以**控制納米結(jié)構(gòu)的高度。

在**納米結(jié)構(gòu)高度為90 nm時(shí)，與未處理的ITO薄膜表面相比，薄膜的透光率提高了19%，片狀電阻減小到1.6倍以下。

這種制備納米結(jié)構(gòu)的方法無需復(fù)雜的加工過程和昂貴的成本，可大大提高光電性能，具有廣泛的工業(yè)應(yīng)用前景。

更多推存

meso-四(對(duì)烷氧基苯基)卟啉鉬配合物

硫化鉛固載四(對(duì)-羧基苯基)鐵卟啉催化材料(FeTCPP/PbS)

cas:108443-61-4|四羧基苯基卟啉鈷|TCPP-(Co2+)

原卟啉 IX 二甲酯，CAS號(hào):5522-66-7

西安齊岳生物科技有限公司是國內(nèi)光電材料，納米材料，聚合物；化學(xué)試劑供應(yīng)商；**于科研試劑的研發(fā)生產(chǎn)銷售。供應(yīng)有機(jī)發(fā)光材料（聚集誘導(dǎo)發(fā)光材料）和發(fā)光探針（磷脂探針和酶探針）、碳量子點(diǎn)、金屬納米簇；嵌段共聚物等一系列產(chǎn)品。sjl2022/01/24