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光電材料|β-FeSi2在脈沖激光沉積Si(100)襯底上的退火效應(yīng)及紅外光電響應(yīng)
發(fā)布時(shí)間:2021-12-27     作者:光電材料   分享到:

光電材料β-FeSi2是光電子領(lǐng)域中一種重要的半導(dǎo)體硅化物。

本文采用脈沖激光沉積Fe薄膜的方法,在Si(100)襯底上制備了β-FeSi2合金層,然后在800℃的真空中進(jìn)行熱退火。

退火溫度的調(diào)整對(duì)樣品的形貌、結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能有明顯的影響。800°c退火后樣品表面光滑,光電材料β-FeSi2相結(jié)構(gòu)良好。

采用所制備的光電材料β-FeSi2合金層作為光電轉(zhuǎn)換層,在1319 nm波長(zhǎng)下,紅外探測(cè)器的響應(yīng)率為1.8 mA/W,探測(cè)率為1.44 × 107 cm?Hz1/2 W?1。


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