采用金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）技術(shù)在SiO2（110）襯底上制備了光電性能可調(diào)的光電材料三元（In1-xAlx）2O3 （IAO）薄膜。

研究了不同In-Al含量x [Al/（In+Al）原子比]對光電材料IAO薄膜結(jié)構(gòu)、形貌和光電性能的影響。

XRD分析表明，隨著In含量的降低，薄膜由**的立方In2O3結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)榉蔷唷?/span>

所有光電材料IAO薄膜均表現(xiàn)出**的光學(xué)性能，在可見范圍內(nèi)的平均透射率均超過84％。

當x值為0 ~ 0.9時，薄膜的光學(xué)帶隙可從3.71 eV調(diào)制到5.29 eV。隨著In含量的降低，霍爾遷移率和載流子濃度下降，電阻率增加。

結(jié)果表明，通過改變in - al組分，可以**地調(diào)節(jié)IAO薄膜的性能，從而可應(yīng)用于短波長光電器件的制備。

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西安齊岳生物科技有限公司是國內(nèi)光電材料，納米材料，聚合物；化學(xué)試劑供應(yīng)商；**于科研試劑的研發(fā)生產(chǎn)銷售。供應(yīng)有機發(fā)光材料（聚集誘導(dǎo)發(fā)光材料）和發(fā)光探針（磷脂探針和酶探針）、碳量子點、金屬納米簇；嵌段共聚物等一系列產(chǎn)品。sjl2012/12/21