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能酸鋰憶阻薄膜的制備-離子注入剝離技術,氬離子輻照的方式
發布時間:2021-03-31     作者:yyp   分享到:

銀酸鋰憶阻薄膜的制備分為兩個主要部分,一個是通過離子注入剝離技術從單晶塊材中剝離出一定厚度的片酸鋰單晶薄膜,并采用BCB膠將其鍵合到襯底上,具體的實施分為四個主要的步驟如下圖1所示,另一個是利用氬離子輻照的方式對薄膜進行處理,通過引入氧空位的方式使薄膜具有憶阻特性。因此這兩個部分主要用到高能離子注入技術和低能離子輻照技術。

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